功能用途: 本产品利用涡流原理制造:即被测蒸铝层靠近高频激磁磁场时,感应产生涡电流,因而产生涡流磁场,此涡流磁场反作用于原来激磁磁场,使传感器阻抗发生变化,然后通过检测电路并进行放大,输出与厚度相对应模拟电压。 技术参数: 可测量范围与量程 被测薄膜尺寸:100mm±10%×200mm±10% 测量量程:厚度90~800Å (0.009~0.08µm)方阻95~0.47Ω/□ 精 确 度 : 测量准确度:厚度±(20Å+2%读数) 方阻±0.15Ω/□(在300~500Å范围) 读数重现性:10Å (同一测量点) 仪器尺寸:120 x 320 x 400(毫米) 重 量:毛重7公斤 配置: 镀铝膜测厚仪壹台 校正片一片 电缆线一根 |